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石墨盤(pán)根用碳纖維絲與石墨線等材料組合織造，并用鎳絲增強(qiáng)盤(pán)根的機(jī)械強(qiáng)度，添加石墨油潤(rùn)滑劑。該產(chǎn)品有高碳盤(pán)根的特性和柔性石墨盤(pán)根的出色功用，具有自潤(rùn)滑、高強(qiáng)度、耐高低溫、耐腐蝕等優(yōu)異功用。廣泛適用于高溫高壓閥門密封。

在外延成長(zhǎng)領(lǐng)域，高純石墨盤(pán)是必不可少的。它在外延成長(zhǎng)中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用?，F(xiàn)在，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤(pán)在結(jié)構(gòu)上基本相同，均采用在石墨盤(pán)基座上規(guī)劃一個(gè)晶圓形狀的淺凹槽的方式來(lái)裝載晶圓。這種規(guī)劃在成長(zhǎng)小尺度的晶圓(比如說(shuō)4寸半導(dǎo)體晶圓)來(lái)說(shuō)是合理的，保護(hù)起來(lái)也很方便。但對(duì)于成長(zhǎng)大尺度的外延片，基于下降晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤(pán)甩出的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓槽底部相對(duì)于石墨盤(pán)頂部的高度比小尺度石墨盤(pán)大一些。